Přejít k obsahu


Structural and Optical Properties of a-Si:H Thin Films in Multilayered Structures

Citace:
VAVRUŇKOVÁ, V., NETRVALOVÁ, M., VAN ELZAKKER, G. Structural and Optical Properties of a-Si:H Thin Films in Multilayered Structures. In Proceedings of the 13th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter. Žilina: University of Žilina, 2007. s. 109-112. ISBN: 978-80-8070-709-5
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Structural and Optical Properties of a-Si:H Thin Films in Multilayered Structures
Rok vydání: 2007
Místo konání: Žilina
Název zdroje: University of Žilina
Autoři: Veronika Vavruňková , Marie Netrvalová , Gijs van Elzakker
Abstrakt CZ: Tento příspěvek je věnovaný vyšetřování strukturních a optických vlastností tenkých vrstev a-Si:H s různou tloušťkou v jednovrstvých a multivrstvých strukturách deponovaných metodou PECVD na skleněné a Si/SiO2 substráty se zředěním 30.
Abstrakt EN: This paper is devoted to the investigation of structural and optical properties of a-Si:H thin films different in thickness, ordered in single and multi-layered structures deposited by PE CVD technique on corning glass 1733 and Si/SiO2 substrates with dilution 30.
Klíčová slova

Zpět

Patička