Přejít k obsahu


A study on the energy distribution for grid-assisting magnetron sputtering

Citace:
JUNG, M., HOUŠKA, J., BAROCH, P., VLČEK, J., MUSIL, J., NAM, K., HAN, J. A study on the energy distribution for grid-assisting magnetron sputtering. In Abstracts. Düsseldorf: VDI-Technologiezentrum, 2004. s. 332-.
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: A study on the energy distribution for grid-assisting magnetron sputtering
Rok vydání: 2004
Místo konání: Düsseldorf
Název zdroje: VDI-Technologiezentrum
Autoři: Min. J. Jung , Jiří Houška , Pavel Baroch , Jaroslav Vlček , Jindřich Musil , K.H. Nam , J.G. Han
Abstrakt EN: The energy distributions of ionized particles impinging on growing films are of crucial importance in the structure and properties of films prepared by magnetron sputtering.This is particularly important in case of thin-film deposition at low temperatures where the film growth occurs under highly non-equilibrium conditions.
Klíčová slova

Zpět

Patička