Přejít k obsahu


Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets

Citace:
BRUNCKO, J., VINCZE, A., NETRVALOVÁ, M. Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets. Vacuum, 2010, roč. 84, č. 1, s. 162-165. ISSN: 0042-207X
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Study of ZnO layer growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets
Rok vydání: 2010
Místo konání: Oxford, England
Název zdroje: Pergamon
Autoři: Ing. Jaroslav Bruncko Ph.D. , Ing. Andrej Vincze Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová
Abstrakt CZ: Článek se zabývá strukturními vlastnostmi tenkých vrstev ZnO připravených na Si(111) substrátu pulzní laserovou depozicí při různých tlacích (1 - 35 Pa) v kyslíkové atmosféře. Depoziční teplota byla 400 °C, byl použit pulzní Nd:YAG laser s vlnovou délkou 355 nm. Pro výzkum byly deponovány dvě paralelní sady vzorků ablací dvou různých terčů (slinutý keramický ZnO a čistý kovový Zn). Vzorky byly posuzovány různými analytickými metodami: skenovací elektronovou mikroskopií (SEM), hmotnostní spektrometrií sekundárních iontů (SIMS) a rentgenovou difrakcí (XRD). Zkoumané vrstvy vykazovaly kolumnární strukturu a přednostní orientaci ve směru osy c krystalové mříže. Výsledky ukázaly, že vysoce kvalitní vrstvy ZnO vyrobené z obou terčů jsou porovnatelné s výjimkou vzorků vytvořených při nízkých tlacích (1 Pa).
Abstrakt EN: The article deals with structural properties of ZnO thin layers prepared on Si (111) by pulsed laser deposition at different pressures (1?35 Pa) of ambient oxygen in the deposition chamber. The growth temperature was 400 °C and a pulsed Nd:YAG laser was used at a wavelength of 355 nm. Two parallel sets of samples deposited by ablation of different targets (a sintered ceramic pellet of ZnO and a pure metallic Zn target) were examined. The samples were characterized by different analytical methods: scanning electron microscope (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS), and X-ray diffraction (XRD). The prepared layers exhibited columnar structure and uniform preferred c-axis orientation. The results showed that the high quality of ZnO films fabricated from both targets is comparable, except for those obtained at low (1 Pa) pressures.
Klíčová slova

Zpět

Patička