Přejít k obsahu


IR laser CVD of nanostructured Si/Ge alloy from silane/germane mixture

Citace:
KŘENEK, T., MURAFA, N., BEZDIČKA, P., ŠUBRT, J., POLA, J. IR laser CVD of nanostructured Si/Ge alloy from silane/germane mixture. Journal of Analytical and Applied Pyrolysis, 2010, roč. 89, č. 1, s. 137-141. ISSN: 0165-2370
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: IR laser CVD of nanostructured Si/Ge alloy from silane/germane mixture
Rok vydání: 2010
Místo konání: Amsterdam
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Ing. Tomáš Křenek Ph.D. , Ing. Nataliya Murafa Ph.D. , Dr., RNDr. Petr Bezdička , Ing. Jan Šubrt CSc. , RNDr. Josef Pola DrSc.
Abstrakt CZ: IČ laserové ozáření ekvimolární směsi silanu a germanu v Ar ústí v dekompozici obou sloučenin a umožňuje chemickou plynnou depozici (CVD) tuhého nanostrukturovaného Si/Ge filmu, který byl analyzován FTIR a Ramanovou spektroskopií, rentgenovou difrakcí a elektronovou mikroskopií. Film byl formován prostřednictvím shlukování a mísení vyjmutých Si a Ge atomů. Bylo prokázáno, že deposit je metastabilní a sestává z krystalické d-c fáze Ge a krystalických Si/Ge slitin obklopených amorfní Si a Si/Ge fází. Publikovaný přístup k přípravě nanostrukturovaného Si/Ge filmu - IČ laserová CVD technika ? představuje jednoduchý způsob pro syntézu binárních nanoslitin z těkavých prekurzorů hydridů.
Abstrakt EN: IR laser irradiation of an equimolar silane?germane mixture in Ar results in the decomposition of both compounds and allows chemical vapour deposition (CVD) of solid nanostructured Si/Ge film that was analyzed by FTIR and Raman spectroscopy, X-ray diffraction and electron microscopy. The film is deduced to be formed via coalescence/intermixing of extruded Si and Ge atoms and revealed as metastable and consisting of the crystalline d-c Ge and crystalline Si/Ge alloys embedded in an amorphous Si and Si/Ge phase. The reported IR laser CVD of the nanostructured Si/Ge film represents a simple way for synthesis of binary alloys from volatile hydride precursors.
Klíčová slova

Zpět

Patička