Přejít k obsahu


St-Res-S - Software pro vyhodnocování zbytkových pnutí v tenkých vrstvách

Citace:
OČENÁŠEK, J., NOVÁK, P. St-Res-S - Software pro vyhodnocování zbytkových pnutí v tenkých vrstvách. 2011.
Druh: SOFTWARE
Jazyk publikace: cze
Anglický název: St-Res-S -Software for evaluation of residual stresses in the thin films
Rok vydání: 2011
Název zdroje: Západočeská univerzita v Plzni
Autoři: Ing. Jan Očenášek Ph.D. , Ing. Petr Novák
Abstrakt CZ: Vytvořený software slouží k měření a analyzování zbytkového pnutí ve vrstvě. Je zde využita metoda založená na Stenoyově rovnici, tzn. zbytkové pnutí ve vrstvě je určeno ze zakřivení substrátu, které je měřeno profilometrem KLA-TENCOR P. Software dále umožnuje stanovit vnitřní a tepelnou složku celkového zbytkového pnutí. Pro filtrování měřených dat a odstranění šumu byl navržen vlastní interaktivní filtr založený na vážené regresi.
Abstrakt EN: Developed software is a tool for measurements and analysis of residual stresses in the thin films. Applied methodology is based in the Stoney’s equation, i.e. the residual stress in the films is determined from the substrate curvature. The curvature is measured by the KLA-TENCOR P-6 Profiler. In addition, the software allows to determine the intrinsic and thermal stress components of the total residual stress. Additionally, for data noise filtration we have designed an iterative filtration algorithm based on the weighted least squares regression.
Klíčová slova

Zpět

Patička