Přejít k obsahu


Non-isothermal kinetics of phase transformations in magnetron sputtered alumina films with metastable structure

Citace:
ZUZJAKOVÁ, Š., ZEMAN, P., KOS, Š. Non-isothermal kinetics of phase transformations in magnetron sputtered alumina films with metastable structure. Thermochimica Acta, 2013, roč. 572, č. Neuveden, s. 85-93. ISSN: 0040-6031
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Non-isothermal kinetics of phase transformations in magnetron sputtered alumina films with metastable structure
Rok vydání: 2013
Autoři: Ing. Šárka Zuzjaková Ph.D. , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Doc. Mgr. Šimon Kos Ph.D.
Abstrakt CZ: Práce rozšiřuje doposud získané informace o vysokoteplotní stabilitě magnetronově naprášených Al2O3 tenkých vrstev. Velká pozornost je věnována kinetice transformačních procesů, které vedou k vytvoření termodynamicky stabilní fáze Al2O3 během ohřevu na teplotu 1300 °C ve vzduchu.
Abstrakt EN: The present study extends knowledge in thermal stability of magnetron sputtered alumina thin films. Special attention is devoted to kinetics of transformation processes in alumina thin films leading finally to the formation of the thermodynamically stable alumina phase during non-isothermal annealing up to 1300 °C under air atmosphere.
Klíčová slova

Zpět

Patička