Přejít k obsahu


Magnetron deposition of IGZO thin films utilizing dc, pulsed dc and bipolar power supply

Citace:
BAROCH, P., REZEK, J., HOUŠKA, J., OZIMEK, P., KLIMCZAK, A. Magnetron deposition of IGZO thin films utilizing dc, pulsed dc and bipolar power supply. Long Beach, California, USA, 2013.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Magnetron deposition of IGZO thin films utilizing dc, pulsed dc and bipolar power supply
Rok vydání: 2013
Autoři: Doc. Ing. Pavel Baroch Ph.D. , Ing. Jiří Rezek , Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D. , Pavel Ozimek , Andrzej Klimczak
Abstrakt CZ: Práce se zaměřuje na výzkum několika typů elektrických zdrojů s přesným řízením procesních parametrů pro optimalizaci přípravy vrstev IGZO s ohledem na jejich elektrické a optické vlastnosti. Pro samostatný magnetron byl použit dc a pulzní dc zdroj a pro duální magnetron byl použit bipolární zdroj. Bylo ukázáno, že elektrické vlastnosti vrstev lze řídit v širokém rozsahu vodivostí a pohyblivost volných nosičů náboje dosahuje vysokých hodnot. Depoziční rychlost byla měřena v závislosti na dodávaném výkonu a parciálním tlaku kyslíku a dále byly zkoumány výsledné optické, elektrické a strukturní vlastnosti jednotlivých vrstev.
Abstrakt EN: In this study we have focused on the comparison of various types of power supplies with precise control of process parameters in order to optimize electrical and optical properties of the semiconducting amorphous indium gallium zinc oxide (IGZO) thin films. We employed dc and pulsed dc power supplies for single magnetron deposition and bipolar and mid frequency sine wave power supplies for dual magnetron deposition. It was shown that the electrical resistivity can be effectively controlled in the wide range of electrical conductivities and the field effect mobility can reach very high values. Deposition rate as a function of discharge power and oxygen partial pressure was systematically investigated and results from optical, electrical and structure analysis will be discussed in detail.
Klíčová slova

Zpět

Patička