Přejít k obsahu


Deposition of transparent IGZO thin films by single and dual magnetron sputtering at dc and pulsed power modes

Citace:
BAROCH, P., REZEK, J., HOUŠKA, J. Deposition of transparent IGZO thin films by single and dual magnetron sputtering at dc and pulsed power modes. Platania-Chania, Řecko, 2014.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Deposition of transparent IGZO thin films by single and dual magnetron sputtering at dc and pulsed power modes
Rok vydání: 2014
Autoři: Doc. Ing. Pavel Baroch Ph.D. , Ing. Jiří Rezek Ph.D. , Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D.
Abstrakt CZ: Tato studie přináší výsledky výzkumu v oblasti přípravy transparentních tenkých vrstev IGZO pomocí samostatného či duálního magnetronu v dc a pulzních výkonových režimech. Magnetrony byly vybaveny keramickými terči InGaZnO. Všechny experimenty byly zaměřeny na studium vlivu parciálního tlaku kyslíku, výkonu na terči a typu pulzního režimu na elektrické, optické a mechanické vlastnosti vrstev. Byla pozorována velmi rychlá změna vodivosti vrstev při minimální změně parciálního tlaku kyslíku. Nejvyšší pohyblivosti volných nosičů náboje bylo dosaženo u vrstev připravených při velmi nízkých hodnotách parciálního tlaku kyslíku. Vrstvy připravené duálním magnetronem vykazovaly výrazně nižší povrchovou drsnost a užší optický zakázaný pás než vrstvy připravené pomocí ostatních systémů.
Abstrakt EN: We report on the transparent semiconducting amorphous indium gallium zinc oxide (IGZO) thin films prepared by single and dual magnetron sputtering at dc and pulsed power modes. Magnetrons were equipped with ceramic InGaZnO targets. In all experiments we focused on the effect of oxygen partial pressure, discharge power and pulsed power mode on the electrical, optical and mechanical properties of IGZO thin films. We have observed a very fast transition between low- and high- resistivity films depending on oxygen partial pressure. The highest mobility of charge carriers was obtained at very low oxygen partial pressures for both the single and the dual magnetron sputtering. The films prepared by the dual magnetron using a bipolar power supply exhibited much smoother surface and narrower optical band gap than films prepared using other power supplies.
Klíčová slova

Zpět

Patička