Přejít k obsahu


Neizotermická kinetika fázových transformací v magnetronově naprašovaných vrstvách Al2O3 s metastabilní strukturou

Citace:
ZUZJAKOVÁ, Š., ZEMAN, P., KOS, Š. Neizotermická kinetika fázových transformací v magnetronově naprašovaných vrstvách Al2O3 s metastabilní strukturou. Pozlovice u Luhačovic, 2016.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Non-isothermal kinetics of phase transformations in magnetron sputtered alumina films with metastable structure
Rok vydání: 2016
Autoři: Ing. Šárka Zuzjaková Ph.D. , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Doc. Mgr. Šimon Kos Ph.D.
Abstrakt CZ: Žíhání tenkých vrstev Al2O3 s metastabilní strukturou připravených pomocí magnetronového naprašování vede k postupným fázovým transformacím končícím vznikem termodynamicky stabilní fáze alfa. V tomto příspěvku popisujeme poslední transformaci gama → alfa. Kinetickou analýzou jsme zjistili, že se jedná o jednostupňový proces s hodnotou aktivační energie Ea=511±16 kJ/mol a hodnotou předexponenciálního faktoru A řádu 10^19 min^-1 . Data vypočtená z kinetického modelu s těmito parametry dobře souhlasí s naměřenými daty. Vysokou hodnotu frekvence A, o nejméně šest řádů vyšší než vibrační frekvence v materiálu, interpretujeme jako projev měknutí vibračních módů ve stabilních směrech sedlového bodu na cestě z metastabilního do stabilního minima v důsledku blízkosti metastabilní fáze théta, jejíž přítomnost prokázala rentgenová difrakce.
Abstrakt EN: Annealing of magnetron-sputtered Al2O3 thin films with metastable structure gave rise to phase transformations all the way to the thermodynamically stable alpha-phase. We describe here the last transformation gamma → alpha. Using the kinetic analysis we found out that it is a single-step process with the activation energy Ea=511±16 kJ/mol and the pre-exponential factor A on the order of 10^19 min^-1. The data calculated by the kinetic model with these parameters agree well with the measured data. We interpret the high value of frequency A, at least six orders of magnitude higher than vibration frequencies in the material, as softening of vibrational modes in the stable directions of the saddle point on the path from a metastable to a stable minimum by the proximity of the metastable theta-phase demonstrated by XRD.
Klíčová slova

Zpět

Patička