Přejít k obsahu


INVESTIGATION OF OPTICAL PROPERTIES OF TERNARY ZN-TI-O THIN FILMS PREPARED BY MAGNETRON REACTIVE CO-SPUTTERING

Citace:
NETRVALOVÁ, M., NOVÁK, P., ŠUTTA, P., MEDLÍN, R. INVESTIGATION OF OPTICAL PROPERTIES OF TERNARY ZN-TI-O THIN FILMS PREPARED BY MAGNETRON REACTIVE CO-SPUTTERING. APPLIED SURFACE SCIENCE, 2017, roč. 421, č. NOV 1 2017, s. 674-679. ISSN: 0169-4332
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: INVESTIGATION OF OPTICAL PROPERTIES OF TERNARY ZN-TI-O THIN FILMS PREPARED BY MAGNETRON REACTIVE CO-SPUTTERING
Rok vydání: 2017
Autoři: Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , Ing. Petr Novák Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Rostislav Medlín Ph.D.
Abstrakt CZ: Tenké vrstvy Zn-Ti-O s různou koncentrací titanu byly deponovány reaktivním magnetronovým konaprašováním v reaktivní Ar/O2 atmosféře ze zinkového a titanového terče. Bylo zjišťěno, že se zvyšujícím obsahem Ti se struktura mění z plně krystalické wurzitové struktury ZnO se silnou přednostní kolumnární orientací na amorfní materiál Zn-Ti-O s 12.5 at% Ti. Optické parametry (spektrální index lomu a extinkční koeficient, optická šířka zakázaného pásu) a tloušťka vrstev byly hodnoceny kombinací elipsometrického měření a měření propustnosti na UV-Vis spektrofotometru. Pro hodnocení optických parametrů byl použit Cody-Lorentzův disperzní model.
Abstrakt EN: Zn-Ti-O thin films with different concentrations of titanium were deposited by reactive magnetron co-sputtering in a reactive Ar/O2 atmosphere from zinc and titanium targets. It was found that with increasing Ti content the structure of the films gradually changes from a fully crystalline pure ZnO wurtzite structure with a strongly preferred columnar orientation to an amorphous Zn-Ti-O material with 12.5 at% Ti. The optical parameters (spectral refractive index and extinction coefficient, optical band gap) and thickness of the films were analysed by the combined evaluation of ellipsometric measurements and measurements of transmittance on a UV-Vis spectrophotometer. For evaluation of optical parameters was used Cody-Lorentz dispersion model.
Klíčová slova

Zpět

Patička