Přejít k obsahu


β- (Me1, Me2) and MeNx films deposited by magnetron sputtering: Novel heterostructural alloy and compound films

Citace:
MUSIL, J., KOS, Š., ZENKIN, S., ČIPEROVÁ, Z., JAVDOŠŇÁK, D., ČERSTVÝ, R. β- (Me1, Me2) and MeNx films deposited by magnetron sputtering: Novel heterostructural alloy and compound films. Surface and Coatings Technology, 2018, roč. 337, č. 15 March 2018, s. 75-81. ISSN: 0257-8972
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: β- (Me1, Me2) and MeNx films deposited by magnetron sputtering: Novel heterostructural alloy and compound films
Rok vydání: 2018
Autoři: Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Doc. Mgr. Šimon Kos Ph.D. , Sergey Zenkin , Ing. Zuzana Čiperová , Ing. Daniel Javdošňák , Ing. Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Článek pojednává o přípravě vrstev s vysokoteplotní β-fází pomocí magnetronového naprašování. Je zde vysvětlen princip formování těchto vrstev. Je ukázáno, že vrstvy s β-fází jsou složené z prvků, které krystalizují v různých krystalových strukturách, a tvoří novou třídu heterosktrukturních vrstev. Vlastnosti vrstev s β-fází jsou unikátní a jsou řízeny tím, ve které krystalové struktuře prvky obsažené ve vrstvách krystalizují. O výsledných vlastnostech vrstvy s β-fází rozhodují tři základní parametry: (1) energie dodaná do vrstvy během jejího růstu, (2) prvkové složení vrstvy a (3) krystalová struktura prvků nebo fází ve vrstvě. Velké množství kombinací krystalových struktur prvků a/nebo fází ve vrstvě umožňuje připravit nové pokročilé heterosktrukturní vrstvy s novými unikátními vlastnostmi. Pro další pokrok v této oblasti je to velká výzva.
Abstrakt EN: The article reports on the formation of high-temperature β-phase films prepared by magnetron sputtering. The principle of formation of the β-phase films is explained. It is shown that the β-phase films are composed of elements that crystallize in different crystal structures and are a novel class of heterostructural films. The properties of the β-phase films are unique and they are controlled by the crystal structures in which the elements contained in the films crystallize. It means that there are three basic parameters which decide on the resulting properties of the β-phase films: (1) the energy delivered into the film during its growth, (2) the elemental composition of the film and (3) the crystal structure of elements or phases in the film. The existence of many possible combinations of the crystal structure of elements and/or phases in the film makes it possible to develop new advanced heterostructural films with new unique properties. It is a great challenge for the further progress in the field.
Klíčová slova

Zpět

Patička