Přejít k obsahu


Zn-Ti-O thin films (fabrication – structure – phase transformation –properties)

Citace:
ŠUTTA, P., MEDLÍN, R., NOVÁK, P., NETRVALOVÁ, M., KOLEGA, M., MÜLLEROVÁ, J., VANČO, L., VOGRINČIČ, P., VESELÝ, M. Zn-Ti-O thin films (fabrication – structure – phase transformation –properties). In 19. Škola vákuovej techniky. Bratislava: Slovenská vakuová společnost, 2017. s. 80-85. ISBN: 978-80-971179-7-9
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Zn-Ti-O thin films (fabrication – structure – phase transformation –properties)
Rok vydání: 2017
Místo konání: Bratislava
Název zdroje: Slovenská vakuová společnost
Autoři: Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Rostislav Medlín Ph.D. , Ing. Petr Novák Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová Ph.D. , Ing. Michal Kolega Ph.D. , J. Müllerová , L. Vančo , P. Vogrinčič , M. Veselý
Abstrakt CZ: V tomto příspěvku jsou prezentovány výroba, mikrostruktura, fázová transformace a základní optické vlastnosti ternárních vrstev Zn-Ti-O připravených reaktivním magnetronovým naprašováním v reaktivním módu, ze dvou magnetronových jednotek osazených zinkem a titanem s různým obsahem titanu při relativně nízkých teplotách depozice (200°C). Rentgenová difrakce, transmisní elektronová mikroskopie a Augerova elektronová spektroskopie naznačily, že struktura vrstev se při zvyšování obsahu titanu mění z čisté polykrystalické ZnO fáze přes ZnO:Ti na ZnTiO3 materiál s malým množstvím TiO2 (anatas). UVVis spektrofotometrie s spektroskopická elipsometrie potvrdila fázovou transformaci přes změny spektrálního indexu lomu, extinkčního koeficientu a optické šířky zakázaného pásma energie.
Abstrakt EN: In this paper we report the fabrication, micro-structure determination, phase transformation and basic optical properties of the Zn-Ti-O thin films prepared by reactive magnetron co-sputtering in a reactive mode, using two magnetron units equipped by zinc and titanium targets respectively, with different titanium content at relatively low temperatures ( 200 °C). X-ray diffraction, transmission electron microscopy and Auger electron spectroscopy have indicated that the structure of the films changes from pure polycrystalline ZnO through ZnO:Ti-like to ZnTiO3-like materials with a small amount of TiO2 (anatase phase), when titanium content increased. UVVis spectrophotometry and spectroscopic ellipsometry confirmed the phase transformation through spectral refractive index, extinction coefficient and optical band-gap changes.
Klíčová slova

Zpět

Patička