Přejít k obsahu


Tunable optical and electrical properties of IGZO thin films prepared by reactive HiPIMS

Citace:
BAROCH, P., REZEK, J., HOUŠKA, J. Tunable optical and electrical properties of IGZO thin films prepared by reactive HiPIMS. Garmisch-Partenkirchen, Německo, 2018.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Tunable optical and electrical properties of IGZO thin films prepared by reactive HiPIMS
Rok vydání: 2018
Autoři: Doc. Ing. Pavel Baroch Ph.D. , Ing. Jiří Rezek Ph.D. , Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D.
Abstrakt CZ: Cílem práce bylo připravit transparentní vrstvy IGZO s řiditelnými optickými a elektrickými vlastnostmi a za tímto účelem byla použita metoda HiPIMS, která umožňuje tvorbu vysoce kvalitních oxidových vrstev. Těchto vlastností je docíleno díky vysokému stupni ionizace terčových částic v plazmatu doprovázenému zvýšeným podílem iontů dopadajících na substrát. To vede ke vzniku vysoce denzifikovaných vrstev. Navíc zvýšení kinetické energie částic dopadajících na substrát přináší dodatečnou energii do rostoucích vrstev a tím je umožněno připravovat tyto vrstvy i na teplotně citlivé substráty.
Abstrakt EN: In order to reach tunable properties of transparent IGZO films we have employed HiPIMS which is very suitable and progressive method for preparing high-quality oxide layer. This is mainly due to a high degree of ionization of target material particles in the discharge plasma and associated high ion-to-atom ratio in particles flux toward the substrate. These features lead to formation of very dense films structure. Moreover, enhanced kinetic energy of particles impacted onto growing film deliver significant amount of energy promoting the growth of the films and is very important especially in the case of deposition on heat sensitive substrates.
Klíčová slova

Zpět

Patička