Přejít k obsahu


Thin Films of Barium Strontium Titanate from the Viewpoint of Light-Based Applications

Citace:
MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P., PRUŠÁKOVÁ, L., MEDLÍN, R. Thin Films of Barium Strontium Titanate from the Viewpoint of Light-Based Applications. In International Conference on Transparent Optical Networks. Bucharest: IEEE Computer Society, 2018. s. nestránkováno. ISBN: 978-1-5386-6604-3 , ISSN: 2162-7339
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Thin Films of Barium Strontium Titanate from the Viewpoint of Light-Based Applications
Rok vydání: 2018
Místo konání: Bucharest
Název zdroje: IEEE Computer Society
Autoři: Jarmila Müllerová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Lucie Prušáková Ph.D. , Ing. Rostislav Medlín Ph.D.
Abstrakt CZ: V tento příspěvek pojednává o výsledcích experimentu z transmisní optické spektroskopie doplněných o data ze strukturní rentgenové analýzy na určení optických vlastností série deponovaných a tepelně zpracovaných (na 900°C) vrstev BaSrTiO3 (BST) vytvořených RF magnetronovým naprašováním. Vzorky v sérii se liší teplotou substrátu v průběhu depozice a dodatečným dodáním kyslíku k argonu do depoziční komory. Perovskitová struktura s nevýraznou přednostní orientací krystalitů ve směru [110] byla zjištěna ve vzorkách tepelně zpracovaných, zatím co vzorky v původním stavu byly amorfní. Disperzivní optické vlastnosti – indexy lomu, absorpční koeficienty a optické šířky zakázaného pásma energií byly určeny ze spekter transmitance. Indexy lomu vzorků po tepelném zpracování se zvýšily potvrzujíc zhuštění materiálu spojené se smrštěním tloušťky vrstev. Optické šířky zakázaného pásma energií určeny Taucovou procedurou jako iso-absorpční hladiny byly rovněž shledány v závislosti na parametrech depozice.
Abstrakt EN: In this paper we report results from optical transmittance spectroscopy complemented with data on structure from XRD measurements to determine optical properties of a series of as-deposited and annealed (at 900 C) BaSrTiO3 (BST) thin films deposited by RF magnetron sputtering. The members of the series differ by the substrate temperature and additional oxygen to accompany argon in the deposition chamber. The perovskite structure with weak preferred [110] orientation was detected for annealed BST thin films whilst the as-deposited films were amorphous. Dispersive optical properties – refractive indices, absorption coefficients and optical band gaps were determined from transmittance spectra. After annealing refractive indices increase to prove the densification of material accompanied by the thickness shrinkage. Optical band gaps calculated either by Tauc procedure or determined as iso-absorption levels are also found to be deposition dependent.
Klíčová slova

Zpět

Patička