Přejít k obsahu


Overstoichiometric TMNx>1 transition metal nitrides: New generation of coatings

Citace:
KOS, Š., MUSIL, J., REMNEV, G. Overstoichiometric TMNx>1 transition metal nitrides: New generation of coatings. Daytona Beach, Florida, USA, 2019.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Overstoichiometric TMNx>1 transition metal nitrides: New generation of coatings
Rok vydání: 2019
Autoři: Doc. Mgr. Šimon Kos Ph.D. , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Gennady Remnev
Abstrakt CZ: Nadstechiometrické nitridové povlaky TMNx>1 představují novou třídu povlaků s jedinečnými vlastnostmi. Jsou vytvářeny reaktivním naprašováním v magnetronových výbojích v ionizované směsi argonu a dusíku. Tyto nitridy jsou vytvářeny na atomární úrovni z atomů přechodových kovů rozprášených z magnetronového terče a z atomů dusíku z disociovaných a ionizovaných dusíkových molekul kondenzujících na povrchu substrátu. Pro vytvoření nadstechiometrických vrstev musí být odstraněn nedostatek dusíku. V principu to jde dvěma způsoby, buď zvýšením ionizace dusíku, nebo snížením počtu atomů přechodového kovu. V našich článcích jsme popsali techniku kombinující oba způsoby. Vznik nadstechiometrických nitridů zirkonu a titanu a jejich vlastnosti jsou popsány v detailu.
Abstrakt EN: The overstoichiometric MeNx>1 nitride coatings represent a new class of coatings with unique properties. They are created by a reactive sputtering in magnetron discharges generated in an ionized mixture of Ar + N2 gases. These nitrides are created at atomic level from TM atoms sputtered from the magnetron target and N atoms of dissociated and ionized N2 gas, i.e. TM + xN = TMNx, condensing on the substrate surface. To form TMNx>1 films the deficiency of N atoms must be removed. In principle there are two ways how it can be achieved: (1) A strong increase of the ionization of sputtering gas and (2) A reduction of the number of TM atoms to a value corresponding to the stoichiometry x of the TMNx=2 dinitride film, i.e. NN = 2 NTM. A technique combining both ways was used in our experiments described in our publications. Formation of overstoichiometric ZrNx>1 and TiNx>1 and their properties are reported in detail.
Klíčová slova

Zpět

Patička