Přejít k obsahu


Advantages of reactive HiPIMS for preparation of tunable properties of IGZO thin films

Citace:
BAROCH, P., REZEK, J., PROCHÁZKA, M., HOUŠKA, J. Advantages of reactive HiPIMS for preparation of tunable properties of IGZO thin films. Nagoya, Japonsko, 2019.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Advantages of reactive HiPIMS for preparation of tunable properties of IGZO thin films
Rok vydání: 2019
Autoři: Doc. Ing. Pavel Baroch Ph.D. , Ing. Jiří Rezek Ph.D. , Ing. Michal Procházka , Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D.
Abstrakt CZ: Využili jsme HiPIMS s proměnnou střední hustou výkonu na terči pro přesné řízení vlastností transparentních vrstev IGZO. Dosáhli jsme téměř lineárního nárůstu odporu tenkých vrstev IGZO s narůstající hodnotou parciálního tlaku kyslíku. Dále bylo ukázáno, že střední hustota výkonu na terči je vhodný parametr pro řízení koncentrace kyslíku ve vrstvách a tím i řízení optických a elektrických vlastností vrstev.
Abstrakt EN: For controlling properties of transparent IGZO films we have utilized HiPIMS with variations of pulse-averaged target power density. We have obtained almost linear control of IGZO thin films resistivity with increasing of oxygen partial pressure utilizing HiPIMS mode of sputtering and highly transparent films with low resistivity were prepared already at low partial pressure of oxygen. It was shown that the value of the pulse-averaged target power density is a suitable parameter for changing of the film oxygen concentration and thus changing optical and electrical properties of the films.
Klíčová slova

Zpět

Patička