Přejít k obsahu


High-Performance Thermochromic VO2-Based Coatings Prepared on Glass by a Low-Temperature (330 °C) Scalable Deposition

Citace:
VLČEK, J., KOLENATÝ, D., HOUŠKA, J., BÁRTA, T., REZEK, J. High-Performance Thermochromic VO2-Based Coatings Prepared on Glass by a Low-Temperature (330 °C) Scalable Deposition. Long Beach, USA, 2019.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: High-Performance Thermochromic VO2-Based Coatings Prepared on Glass by a Low-Temperature (330 °C) Scalable Deposition
Rok vydání: 2019
Autoři: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček CSc. , Ing. David Kolenatý , Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D. , Mgr. Tomáš Bárta , Ing. Jiří Rezek Ph.D.
Abstrakt CZ: Práce se zabývá termochromickými povlaky na bázi VO2 připravenými na sodno-vápenatém skle pomocí reaktivního magnetronového naprašování. Kombinujeme několik způsobů, jak vylepšit vlastnosti těchto povlaků a zvýšit jejich aplikační potenciál. Prvním z nich je příprava krystalických VO2 vrstev o správné stechiometrii pomocí reaktivního vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování s pulzním řízením toku O2 za průmyslově vysoce příznivých podmínek: bez předpětí na substrátu a za nízké teploty substrátu (330 °C). Zároveň bylo provedeno dopování VO2 pomocí W (vedoucí na složení V1-xWxO2, kde x = 0,018) s využitím pulzního dc reaktivního magnetronového naprašování za účelem snížení teploty termochromického přechodu na 20 °C. Posledním z nich je využití spodní i horní ZrO2 antireflexní vrstvy připravené za nízké teploty substrátu (< 100 °C) pomocí duálního reaktivního ac magnetronového naprašování o střední frekvenci.
Abstrakt EN: The paper deals with thermochromic VO2-based coatings prepared on soda-lime glass by reactive magnetron sputtering. We combine several ways how to improve the coating performance and to increase its application potential. First, reactive high-power impulse magnetron sputtering with a pulsed O2 flow control was used to prepare crystalline VO2 layers of the correct stoichiometry under highly industry-friendly deposition conditions: without any substrate bias at a low substrate temperature of 330 °C. Second, simultaneous doping of VO2 by W (resulting in a V1-xWxO2 composition with x = 0.018) was performed using a pulsed dc reactive magnetron sputtering to reduce the transition thermochromic temperature to 20 °C. Third, ZrO2 antireflection layers both below and above the thermochromic V1-xWxO2 layers were deposited at a low substrate temperature (< 100 °C) by a dual reactive mid-frequency ac magnetron sputtering.
Klíčová slova

Zpět

Patička