Přejít k obsahu


Technologie přípravy vícedimenzionální fotonické struktury

Citace:
CALTA, P. ., ŠUTTA, P. ., MEDLÍN, R. ., NETRVALOVÁ, M. . Technologie přípravy vícedimenzionální fotonické struktury. 2019.
Druh: POLOPROVOZ, TECHNOLOGIE, ODRŮDA, PLEMENO
Jazyk publikace: cze
Anglický název: TECHNOLOGY OF MULTI-DIMENSIONAL PHOTONIC STRUCTURES
Rok vydání: 2019
Název zdroje: Západočeská univerzita v Plzni
Autoři: Ing. Pavel Calta Ph.D. , doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Rostislav Medlín Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová Ph.D.
Abstrakt CZ: Tato technologie využívá v prvním kroku metodu přípravy tenkých vrstev PECVD (?Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition?) pro vytvoření superstruktur a-Si/a-SiNx a ve druhém kroku jejich následné žíhání ve vakuu až do teploty 1100°C pro vytvoření změn ve struktuře (tvorba křemíkových nanokrystalů v původně amorfních křemíkových subvrstvách) vlivem rekrystalizace. Velikost křemíkových nanokrystalů je dána jednak tloušťkou subvrstev v superstruktuře, jednak teplotou žíhání. Výsledky byly ověřeny rentgenovou difrakcí, transmisní elektronovou mikroskopií a Ramanovou mikroskopií, UV-Vis spektroskopií a elipsometrií, které potvrdily výskyt nanokrystalů a řízené změny optických vlastností superstruktur.
Abstrakt EN: In the first step, this technology uses a method for thin film preparation - PECVD (?Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition?) to deposit a-Si/a-SiNx superlattices, and subsequently in the second step vacuum annealing of these layers up to 1100 ° C to create structural changes (formation of silicon nanocrystals in originally amorphous silicon sublayers) due to the recrystallization. The size of silicon nanocrystals is driven by the sublayer thickness in the superlattice and by the annealing temperature. The results were verified by X-ray diffraction, transmission electron microscopy, Raman microscopy, UV-Vis spectroscopy and ellipsometry, which confirmed the presence of nanocrystals and controlled changes in the optical properties of superstructures.
Klíčová slova

Zpět

Patička