Přejít k obsahu


Problems in Aluminium Quantitative Determination in ZnO:Al Films by Electron Microprobe

Citace:
MEDLÍN, R. Problems in Aluminium Quantitative Determination in ZnO:Al Films by Electron Microprobe. In Proceedings of the 14th comference on Applied Physics of Condensed Matter. Bratislava: Slovenská Technická Univerzita v Bratislave, 2008. s. 146-149. ISBN: 978-80-227-2902-4
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Problems in Aluminium Quantitative Determination in ZnO:Al Films by Electron Microprobe
Rok vydání: 2008
Místo konání: Bratislava
Název zdroje: Slovenská Technická Univerzita v Bratislave
Autoři: Rostislav Medlín
Abstrakt CZ: Stanovení množství AL v tenkých vrstvách ZnO:Al na substrátu pomocí elektronové mikrosondy (EPMA). Je studován vliv substrátu a změny primární energie elektronového svazku. Je rovněž naznačena možnost měření tloušťky tenké vrstvy pomocí EPMA.
Abstrakt EN: The goal of this paper is to quantify the amount of Aluminium present in ZnO:Al film samples by analyzing the film using EPMA (Electron Probe Microanalysis). Influences of the substrate components and the effect of varying energy levels of the primary beam are shown. The possibility of measuring films' thicknesses by using EPMA is also considered.
Klíčová slova

Zpět

Patička