Přejít k obsahu


Study of ZnO layers growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets

Citace:
BRUNCKO, J., VINCZE, A., NETRVALOVÁ, M. Study of ZnO layers growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets. Balatonalmádi, Lake Balaton, 2008.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Study of ZnO layers growth by pulsed laser deposition from Zn and ZnO targets
Rok vydání: 2008
Místo konání: Balatonalmádi, Lake Balaton
Autoři: Jaroslav Bruncko , Andrej Vincze , Marie Netrvalová
Abstrakt CZ: Tento příspěvek se zabývá strukturními vlastnostmi monovrstev ZnO připravených na Si (111) substrát pulsní laserovou depozicí při různých tlacích (1 - 35 Pa) kyslíkové atmosféry v depoziční komoře. Nárůst teploty byl na 400°C a pulsní Nd:YAG laser využíval vlnovou délku 355 nm. Byly vytvořeny dvě série vzorků ve stejné atmosféře z dvou různých terčů (sintrovaný keramický ZnO a čistý kovový Zn terč). Vzorky byly zkoumány různými analytickými metodami: scanovacím elektronovým mikroskopem (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS) a rentgenovou difrakcí (XRD). Připravené vrstvy jsou charakteristické svou jemnozrnnou strukturou a přednostní orientací ve směru osy c (tedy kolmo k povrchu substrátu). Výsledky ukazují, že depozice vysoké kvality tenkých vrstev ZnO je porovnatelná z obou terčů za nízkých tlaků (1 Pa).
Abstrakt EN: The article deals with structural properties of ZnO monolayers prepared on Si (111) by pulsed laser deposition at different pressures (1 – 35 Pa) of ambient oxygen in deposition chamber. The growth temperature was 400° C and a pulsed Nd:YAG laser was used at wavelength of 355 nm. There is compared parallel set of samples which were deposited by ablation of two different targets (a sintered ceramic pellet of ZnO and a pure metallic Zn target). The samples were investigated by different analytical methods: scanning electron microscope (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS), and X-ray diffraction (XRD). Prepared layers exhibited smooth grained structure and uniform preferred c-axis orientation of crystallites perpendicular to the substrate surface. The results showed that deposition of high quality of ZnO films is comparable from both targets except of low (1 Pa) pressures.
Klíčová slova

Zpět

Patička